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题目
以下叙述中,不正确的是()
A. N MOS位于PWELL中
B. P MOS的substrate是N参杂
C. POLY的电阻值比Metal高
D. P WELL的参杂浓度比P Sub高
参考答案与知识点
参考答案
正确答案是A。
解析:
A选项错误。N MOS(NMOS)通常制作在P型衬底(P Substrate)上,而不一定在P阱(PWELL)中。在标准CMOS工艺中,P型衬底本身就是P型掺杂,NMOS可以直接做在P衬底上;只有在需要隔离或双阱工艺中,才会在P衬底上再形成P阱供NMOS使用,但“位于PWELL中”并非必须条件。而P阱通常用于PMOS的N阱工艺中作为衬底隔离,或用于调节阈值电压,但NMOS的主要区域是P型沟道,其形成位置取决于工艺类型。因此A表述不准确。
B选项正确。PMOS的衬底(substrate)是指其沟道下方的掺杂区,即N阱(N-well)或N型衬底,为N型掺杂。
C选项正确。多晶硅(POLY)的电阻率远高于金属(如铝、铜),通常高出几个数量级,因此电阻值更大。
D选项正确。P阱(PWELL)是通过离子注入或扩散形成的掺杂区,其掺杂浓度通常高于轻掺杂的P型衬底(P Sub),因为衬底一般为低掺杂以减少寄生效应。
易错点:混淆MOS管的衬底与阱的关系,误以为NMOS必须位于P阱中。
涉及知识点
- CMOS 工艺中 NMOS 与 PMOS 的衬底类型
- P阱与P衬底的区别和掺杂浓度关系
- 多晶硅与金属的电阻率比较